《表6 Si-DLC的平均摩擦因数》

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《基底对类金刚石薄膜组织性能的影响》

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图7为不同基底Si-DLC薄膜摩擦因数随摩擦时间的变化曲线。在摩擦磨损测试中，薄膜在300s后趋于稳定，取磨损稳定后的区域对薄膜的摩擦性能进行分析。表6为薄膜平均摩擦因数，可以看出，在不锈钢基底上制得的DLC薄膜摩擦因数最高，约为0.12，在氮化硅基底上制备的薄膜摩擦因数最小，约为0.09。在之前的拉曼测试中，不锈钢基底的薄膜金刚石程度高，而氮化硅基底上的薄膜sp2含量相对较多，即薄膜成分更偏石墨化，石墨化程度越高摩擦因数越小，因此，沉积在氮化硅基底上的类金刚石膜具有相对小的摩擦因数。