《表5 不同基底结合力对比》

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《基底对类金刚石薄膜组织性能的影响》

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图5和表5为不同基底沉积DLC薄膜随划痕力增加而获得的声音信号对比结果。随着压头在涂层上进行划动，压头上施加的载荷逐渐增大。当声音信号突变时，其对应的载荷即可视为膜基结合强度。可以看出，氮化硅基底的初始突变声信号对应的临界载荷只有6.63N，是3种基底结合力最小的，而结合力最佳的是不锈钢基底，临界载荷为13.55N。