《表1 不同温度下铜和铝的扩散系数》

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《温度和保温时间对铜/铝薄膜的界面扩散性能及力学性能影响的分子动力学模拟》

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不同保温温度下界面原子的扩散系数，如表1所示。可看出，铝原子的扩散速度比铜原子的要快，这与实验测试结果一致[8-10]。从表1还可看出，800K时铝原子扩散系数（6.859 99×10-9 m2/s）十分接近已有的理论计算值（4.83×10-9m2/s）[14]。