《表1 2种压电陶瓷材料基本参数》

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《高压应力下压电叠堆静态特性研究》


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选择商用AL1.65×1.65×5DF压电叠堆和自制压电叠堆作为实验材料.AL1.65×1.65×5DF压电叠堆材料是PZT5,实际尺寸为1.68 mm×1.72 mm×5mm,谐振频率为260 kHz.自制压电叠堆选用26片尺寸为10 mm×10 mm×0.7 mm的PZT4薄片,经过粘接、打磨、绝缘、割缝、引电极、极化等工艺制成[10],实际尺寸为10 mm×10 mm×18.2 mm,谐振频率为70 kHz.2种压电材料基本参数见表1.