《表2 切割废料在1 400℃保温不同时间后的物相组成》

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《晶体硅金刚线切割废料氮化反应的研究》

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表2示出了切割废料在1 400℃保温不同时间后的物相组成。从中可见，随着氮化时间的增加，反应物含量逐渐减少，α-Si3N4的含量先增加后减少，β-Si3N4的含量逐渐增加，这是由于过度延长氮化时间会使氮化产物中已生成的α-Si3N4熔入高温液相，然后从高温液相析出β-Si3N4[9-10]，导致α-Si3N4含量减少。而且Si2N2O的含量先增加后减少，可能是因为随氮化时间增加，SiO2与Si2N2O被氮化为β-Si3N4[11]。由此可知，若要减少氮化反应中Si2N2O的生成，可以通过酸洗去除或者降低切割废料中的氧含量。氮化时间为3 h时，氮化产物中Si的含量已经非常少，反应已基本完全进行。要使产品中Si3N4生成量较多，Si2N2O生成量较少，最佳保温时间为3 h。