《表3 不同添加剂含量的切割废料氮化后的物相组成》

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《晶体硅金刚线切割废料氮化反应的研究》

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表3示出了切割废料在氮化温度1 400℃、氮化时间2 h、不同添加剂含量下的物相组成。可见，当α-Si3N4添加剂含量由0增加5%（w）时，产物中未反应Si的含量以及Si2N2O的含量迅速降低。这是由于α-Si3N4在反应中起到晶种的作用，氮化反应的过程需要一个诱导期，而α-Si3N4的加入为α-Si3N4的生长提供了晶核，因此缩短了α-Si3N4的诱导期，促进α-Si3N4的生长，从而抑制了Si2N2O的生长。当α-Si3N4外加量（w）为10%时，氮化产物中Si的含量已经非常少，氮化反应已基本进行完全。考虑氮化反应的进行程度，氮化产物中含有尽量多的Si3N4和尽量少的Si2N2O，并且添加剂含量越多，制备成本也会增加。综合考虑，α-Si3N4添加剂的最佳外加量为10%（w）。