《表1 切割废料经不同温度煅烧后的物相含量》

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《晶体硅金刚线切割废料氮化反应的研究》

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晶体硅金刚线切割废料分别在1 300、1 350、1 400、1 450和1 500℃下氮化2 h后的物相含量如表1所示。由表1可知，随氮化温度升高，氮化产物中的Si含量（w）由1 300℃时的95.6%逐渐减少到1 500℃时的13.5%，α-Si3N4含量（w）由1 350℃时的20.1%逐渐增加到1 500℃时的29.8%，β-Si3N4含量（w）由1 350℃时的6.1%逐渐增加到1 500℃时的23.5%，Si2N2O含量（w）由1 300℃时的4.4%逐渐增加到1 500℃时的33.2%。随着氮化温度的升高，氮化反应进行的程度增大，α-Si3N4、β-Si3N4和Si2N2O的含量均呈增加趋势，说明在一定温度范围内，温度升高有利于氮化反应[8]；但氮化温度过高时，Si2N2O生成量大量增加。综合考虑，最佳煅烧温度为1 400℃。