《表5 ICF靶准直器末端偏移量及动平台角度变化量》

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《ICF靶准直器位姿并联调整机构静力分析》

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并联调整机构的变形是结构受力引起的静态变形，属于系统误差，因此在其处于原始位姿时，可以通过机构的调整来补偿ICF靶准直器末端因并联调整机构变形引起的偏移及角度变化，在并联调整机构工作时不能再调整。将角度变化引起的末端位移加上动平台在三个轴方向上的变形量，可得ICF靶准直器末端的偏移量。分别对并联机构处于各个极限位姿时的情况进行计算，经过补偿，结果如表5所示。