《表1 SiC薄膜光学常数n、k色散公式中拟合参量的优化值》

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《脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究》


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根据上述透射光谱法,对SiC薄膜样品A、B、C的光学常数进行了拟合计算。表1为不同激光能量时,SiC薄膜折射率n和消光系数k色散公式中各拟合参量的优化结果。