《表1 不同照明光源和物镜下的半截距分辨率、视场及空间带宽积比较[152]》
根据设计,对于4×/0.1 NA物镜交叠率为68.5%,满足了FPM所需要的采样要求[161]和图案设计优化[117]。对于不同的应用,可以使用更高NA的物镜获得更高的分辨率,相应的交叠率也会更高,但是视场和计算效率会有所牺牲。与传统的聚光镜不同,不需要透镜,反射镜或者机械扫描部件来控制照明NA。SRFP平台最终实现了基于4×/0.1 NA物镜合成至1.05 NA,使用465 nm光波实现分辨率达到244 nm(11组1),视场14.6 cm2,对应空间带宽积为24 500万像素(见图7),相比于传统明场成像,SRFP扩宽了数十倍的SBP(比较结果见表1),成像效果超过40×0.6 NA物镜。相比于基于平板LED的传统FPM,SBP也提高了两倍以上。此外,结合LED亮度校正方法(硬件补偿)和LED位置校准算法(SC-FPM),进一步提升了成像质量(如图7所示)。其中LED位置校准算法的模型与SC-FPM略有不同,共3个系统参数,平移因子△x,△y,旋转因子φ[152]。
图表编号 | XD0065897300 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.06.25 |
作者 | 潘安、姚保利 |
绘制单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室、中国科学院大学、中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室、山西大学极端光学协同创新中心 |
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