《表4 各初级像差校正能力》

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《主镜半主动支撑的力矩校正方法研究》

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为了进一步研究该力矩校正方法的校正能力，分别对离焦、倾斜和初级彗差等低阶波前像差进行校正，得到各级像差校正能力如表4所示。从表4可以看出，该力矩校正方法可以很好地校正倾斜和像散，可以将初始镜面RMS值归一化为1/10的像差，分别校正到0.687 nm和2.97 nm，校正能力分别能达到98.9%和95.3%，所需的最大校正力矩分别为6.3 Nmm和19.9 Nmm；而对于离焦和彗差也具有一定的校正能力，将初始镜面RMS值归一化为1/10的像差，仅分别校正到16.3 nm和21.5 nm，校正能力分别仅为74.2%和65.9%，其对应所需的最大校正力矩则分别为33.7 Nmm和157 Nmm。