《表1 两种方法检测净杂质浓度数据对比》

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《超高纯锗棒或锭的净杂质浓度检测方法》

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实际检测超高纯锗产品时应将两探针法与霍尔检测法结合起来，首先采用两探针方法获得整条锗棒的净杂质浓度分布曲线，准确找到符合要求的产品区间，再切片通过霍尔检测验证，最终检测数值以霍尔检测为准。采用该方法后可以减少切片、霍尔检测次数，一次切片即可找到符合要求的产品区间。