《表4 不同入射角度情况下，对于不同厚度铝样品的空间分辨》

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《高能电子成像暗场成像技术特性研究及改进方案》

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对比两种成像束线设计，像平面上的电子数统计分布，可以得出通过调节入射角实现暗场成像可以有效地解决结果的失真问题。由上述分析亦可得出不同入射角度情况下，不同厚度铝样品对应的空间分辨能力，其结果如表4所示。