《表1 四氟化硅气体中杂质的种类及含量》

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《四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展》

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注:其中“-”代表未检测到。

对于电子工业用四氟化硅气体，国家标准[6]与国外公司公布的四氟化硅气体中杂质的种类及含量见表1。但是国家标准与国外公司均未对四氟化硅气体中的烃类、氟硅烷、氟氧硅烷、氟硅醇、六氟化硫、金属杂质做出相关的说明和报道，这对于四氟化硅气体中杂质的检测分析是不全面和不充分的。