《表1 不同萃取剂对四氟化硅恒沸物的萃取精馏性能》

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《高纯电子级四氟化硅中恒沸物及金属杂质的去除》

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注:1) 本表所列研究工作的卤代硅烷以二氟一氯硅烷（Si HCl F2）作为代表性残留物组成；2) 饱和直链烷烃类萃取剂以己烷（C6H14）作为代表性萃取剂；3) 饱和环烷烃类萃取剂以环己烷（C6H12）作为代表性萃取剂；4) 卤代芳香族类萃取剂以对二氯苯（C6H4Cl2）作为代表性萃取剂；5) 含氧

针对二氟一氯硅烷恒沸物分离，上述5种类型的萃取剂分别选择为己烷、环己烷、对二氯苯、苯酚和邻二氨基环己烷。萃取精馏分离性能评价后，结果列于表1中。