《表1 SiF4物化参数：四氟化硅生产工艺研究进展》

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《四氟化硅生产工艺研究进展》

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SiF4在常温下为无色、有毒、有刺激性臭味气体，可与碱性物质反应，且在潮湿空气中会产生浓烟，生成硅氧化物和氟化氢。此外SiF4溶于乙醇、硝酸、醚、氢氟酸等，且与大部分含有水汽的材料反应生成极度易燃的氢气[4]，SiF4的物化参数见表1[5]。