《表1 实验参数设定：基于大气等离子体烧结技术的硅晶圆加工废料回收工艺研究》
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《基于大气等离子体烧结技术的硅晶圆加工废料回收工艺研究》
由于实验设备条件限制，加上预实验中等离子体矩管口的距离为10 mm，功率为1000 W，时间为10 min时，烧结对样本几乎没有作用等原因，最终只进行一次实验并观察样本，设置的各项参数见表1.
| 图表编号 | XD00228240500 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.09.01 |
| 作者 | 王先菊、龚理行 |
| 绘制单位 | 华南农业大学电子工程学院、南方科技大学工学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
