《表2 第一次测定的重量百分比》

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《基于大气等离子体烧结技术的硅晶圆加工废料回收工艺研究》


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要得出进一步的推论,还需要依靠电子扫描显微镜进行元素分析.我们进行了两次对样品不同区域的元素分析.第一次、第二次测定时的电子图像与分层图像分别如图7、图8所示,各元素分布图像分别如图9、图10所示,各元素重量百分比与原子百分比见表2至表5.