《表3 不同置信水平下的产品置信上限及MTBF》

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《无失效数据的MEMS传感器可靠性分析》

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MTBF（mean time between failures）即平均故障间隔时间，在产品寿命服从指数分布时等于其故障率的倒数。即MTBF=1/λ。现评估经典置信上限情况下的MEMS元器件MTBF估计值，通过式（7）计算不同置信水平下经典置信上限λCU以及MTBF，其中α表示经典置信法中的置信度。为避免试验产品个数对结果的影响，此处假设每组实验个数为一个。不失一般性，以下还假设了失效率λ（t）=4×10-5并计算在此条件下产品的置信上限及MTBF。结果如表3所示。