《表1 拟合项及对应系数》

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《基于参考物镜的数字全息显微相位畸变自动补偿》

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图9是根据相位与物体高度的关系得到的三维形貌图．表1是图8b所示拟合曲面所用项及其对应系数，该多项式同时完成了平移、倾斜、像散、离焦像差补偿．实验结果证明，使用该六项多项式拟合结果较好．如图9所示，测量目标区域铬层图案高度约95 nm，与样品规格（100 nm）相符；系统横向尺寸使用微分尺作标定，而USAF分辨率板5组2号的线宽度约14μm，与重建结果的横向尺寸吻合．