《表1 加速度计参数：基于隧道磁阻效应的单轴加速度计研究》

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《基于隧道磁阻效应的单轴加速度计研究》

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综合考虑位移—加速度灵敏度以及隧道磁阻式加速度计制作过程中3D打印的精度，在L=8 mm，H=50 mm时分别取W=1.8 mm，2.8 mm作为实际模型参数，其模态频率以及加速度—位移响应曲线如表1、图8所示。