《表1 两个谐振器的参数：硅微谐振式加速度计温度效应标定与补偿》
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通过第3.3节最小二乘法获得系数矩阵，得到两谐振器的模型参数如表1所示。
| 图表编号 | XD00145027300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.06.15 |
| 作者 | 於陈程、张俊辉、李永亮、曾婷、苏岩 |
| 绘制单位 | 北京卫星制造厂有限公司、北京卫星制造厂有限公司、北京卫星制造厂有限公司、北京卫星制造厂有限公司、南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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