《表2 加速度计性能测试结果》

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《基于隧道磁阻效应的单轴加速度计研究》

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图11为z=5，6，7，8mm时隧道磁阻加速度计的加速度响应曲线。通过线性拟合以及线性度分析，得到标度和线性度参数表2所示。结果表明隧道磁阻式加速度计具有较好的线性与理论推导相一致。