《表2 传感器灵敏度计算结果与仿真结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《垫圈式压电六维力传感器静态灵敏度解析》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

（pC/N or pC/N·m）

为了验证传感器静态灵敏度解析数学模型的有效性，可以通过对比不同结构参数下传感器的解析数学模型计算结果和基于ANSYS有限元软件的数值模型计算结果，当两种计算结果的对应数值相近或线性相关时，可认为传感器的解析数学模型有效。考虑实际中受传感器外部尺寸的限制，故9组传感器结构参数是在限制了传感器壳体厚度与石英晶片厚度的基础上给出的，如表1所示。表2是按照表1中的传感器结构参数，运用解析数学模型和数值模型求解得到的传感器静态灵敏度。其中，数值模型直接得到的是各晶片组电势差U，需运用Q=CU（C为晶片组电容）转化为电荷，再根据式（1）和式（2）才能得到数值模型的最终求解结果。