《表6 极差分析结果：垫圈式压电六维力传感器静态灵敏度解析》

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《垫圈式压电六维力传感器静态灵敏度解析》

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表6是基于正交试验结果的极差分析，表中K珡i（i=1，2，3，4）代表各结构参数所对应的水平下试验结果平均值；Ri为同一结构参数不同水平下的试验结果的极差值。图5是极差分析柱状图，横轴代表不同因素的4个水平，纵轴为试验指标；同一因素下不同水平的柱状图高度差异越大，表明该因素对传感器灵敏度的影响就越大；同一因素下柱状图高度最高时所对应的水平即为该因素的最佳水平。由图5可得到影响传感器的灵敏度的强弱顺序为:晶片半径>外环弹性模厚度>晶片厚度>影响外环弹性模宽度尺寸>内环弹性模厚度>影响内环弹性模宽度尺寸。最佳水平组合为:晶片半径r1=5mm，晶片厚度b7=0.85mm，内外环弹性模厚度b2（b3）=0.3mm，影响内、外环弹性模宽度的结构参数r5=9.8 mm，r6=20mm。