《表2 CatGAN分类试验结果Tab.2 CatGAN classification experiment results》

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《数据驱动的晶圆图缺陷模式识别方法》

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通过对参数优化试验的结果分析，采用学习率为0.15、加权成本为0.07、相对训练次数为10、训练集比例为0.7，分别在3个不同规模的晶圆图数据集中进行分类试验，得到其在整体和各个缺陷模式上的分类正确率。试验结果见表2。