《表2 三种薄膜的基本性能Tab.2 Basic properties of three films》

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《盐雾腐蚀条件下Ti合金表面功能薄膜的摩擦磨损性能》

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表2是所制备的三种薄膜的基本性能，其中Ti N薄膜的膜/基结合力最大，为72 N，而双层结构的Cr-DLC薄膜和W-DLC薄膜的膜/基结合力较低，分别为56 N和60 N。这是因为采用多弧离子镀技术制备的Ti N薄膜，电弧放电产生了更高的离子能量。测得的W-DLC薄膜和Cr-DLC薄膜的显微硬度分别是15 GPa和12 GPa，Ti N薄膜的显微硬度为25.4 GPa。