《表2 抛光工艺参数优化组合Tab.2 Optimal combinations of polishing process parameters》

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《抛光涂层硬质合金刀片加工钛合金的耐用度分析》

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化学机械抛光的主要工艺参数有:磨粒尺寸、抛光时间、抛光转速、抛光压力、氧化剂和磨粒浓度等。在此，选用本课题组前期研究[10]所得出的最佳抛光工艺参数（见表2）对磨削YG8硬质合金刀片进行抛光预处理。抛光硬质合金刀片的涂层在株洲钻石切削刀具股份有限公司的PVD和CVD涂层设备上制备，然后使用扫描电镜（SEM）对涂层状态进行观察与分析。