《表1 CrMoN渗/镀复合涂层的成分和厚度》

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《刀具表面沉积的CrMoN渗/镀复合涂层的微观结构和力学性能》

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CrMoN涂层和CrMoN渗/镀复合涂层表面的EDS分析结果见表1。可看出，基体渗氮处理对CrMoN涂层中Cr、Mo和N的原子分数影响较小，CrMoN渗/镀复合涂层中各元素的原子分数依次为36.88Cr、17.68Mo、44.97N，与单一制备的Cr MoN涂层各元素的原子分数差别不大。两种涂层表面均检测出微量的O元素，这可能与真空腔残留的氧或表面轻微氧化有关。CrN和CrMoN涂层的厚度分别为2.723、2.812μm，表明两组涂层的沉积速率基本相同。