《表5 3种基板玻璃制造工艺对比》

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《TFT-LCD基板玻璃的市场现状及发展趋势》

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目前基板玻璃的制造工艺主要有浮法、流孔下引法和溢流法3种。流孔下引法的玻璃成形时直接接触金属滚轮，导致玻璃双面质量不高，需要后续抛光处理，加工难度较大，因此该法生产的玻璃不适合应用于TFT-LCD液晶面板产业。美国康宁公司的溢流法成型工艺是目前生产TFT-LCD用基板玻璃的主要生产方法，该法成形时玻璃板表面仅与空气接触，形成自然表面，表观质量很高，但缺点是难以做高世代大尺寸基板玻璃，且产能小。日本旭硝子发展了浮法制造TFT-LCD基板玻璃的技术，浮法工艺易于扩大基板玻璃面积，降低单位成本，但在锡槽成型时接触液态锡的一面仍需要抛光处理去除锡层[9-11]。3种基板玻璃制造工艺对比见表5。