《表2 a-Si玻璃与LTPS玻璃基板性能指标》

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《用于液晶显示器的低温多晶硅玻璃基板的研究现状及发展趋势》


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由于LTPS生产线中使用镭射退火工艺将a-Si转换为LTPS,加工温度在500~700℃之间,对玻璃基板提出了更高的要求,如表2所示[3,11]。