《表1 相对位移误差系数：光学元件拼接测量中的定位误差校正》

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《光学元件拼接测量中的定位误差校正》

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随机产生一组相对误差系数，如表1所示，将第二个局部子口径按着初始误差系数相对于第一个局部子口径位置进行相对位置变化。其中第一个局部子口径面形数据如图6所示，PV值为58.7 nm，RMS值为12.2 nm；第二个局部子口径面形数据如图7所示，PV值为51.1 nm，RMS值为11.6 nm。