《表1 结构参数表Tab.1 Structural parameter list》

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《基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析》


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本文设计的微加速度计初始要设计的参数包括:悬臂梁与质量块的长、宽、厚.量程设计为150g,结构参数如表1所示.