《表4 优化结果：基于等效模型的多层蜂窝堆栈ULE反射镜优化设计研究》

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《基于等效模型的多层蜂窝堆栈ULE反射镜优化设计研究》

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最后根据响应面模型的优化结果建立反射镜详细的壳单元模型进行验证，得到反射镜面型精度rms为2.21nm，需进一步优化。有限元仿真结果显示面型靠近外缘部分的较差，因此不改变表3内反射镜的结构尺寸，从反射镜0.77R（R为反射镜外径）位置至1R对中层蜂窝芯采用三角形筋加密，最终优化结果见表4。