《表2 Element content (Atomic)》

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《表面处理降低GaAs界面态密度的研究》

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观察Ga、As结合能峰形态并拟合结合能峰，如图7所示（以酸处理为例），Ga3d、As3d5、As3d3结合能峰均含有两个价态，进一步拟合分析其不同处理条件下结合能峰窄谱面积，计算出各价态的占比[11]，如表2所示。