《表2 300℃时氧在第ⅣB和ⅤB元素中1 h内的扩散距离[17-19]》

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《MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述》

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因此，为了使吸气剂在较低的温度下即可被激活，第ⅣB元素如Ti和Zr可能是较为合适的选择。在NEG的激活过程中，表面的氧逐渐向NEG内部扩散，扩散速度决定了激活速度的快慢。氧在其中扩散性好的NEG材料，通常其激活温度较低，激活速度也较快。300℃时，氧在第ⅣB和ⅤB元素中1 h内的扩散距离见表2。可见氧在ⅣB元素中的扩散速率较慢，在第ⅤB元素中的扩散速率较快。