《表1 AEO9与AES参数对比》

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《表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响》

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本实验清洗的晶片采用2英寸（1英寸=2.54 cm）蓝宝石抛光片。清洗液中碱和酸采用分析纯氢氧化钾（KOH）和分析纯硫酸（H2SO4），非离子表面活性剂为质量分数99%的AEO9，阴离子表面活性剂为质量分数70%的AES，AES与AEO9参数如表1所示（其中pH值是在体积分数为1%的溶液中测得）。去离子水（DI水）的电阻率为18 MΩ·cm。使用的抛光液为硅溶胶型抛光液（SiO2的质量分数为20%，SiO2颗粒平均粒径为100 nm）。