《表1 力传感器的激励与响应》

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《力传感器惯性质量的改进Monte Carlo校准方法》

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选用Kistler 9331B型力传感器作为被校准对象。测量过程主要包括3步。第1步，将被校准力传感器安装在正弦激振台上方的传感器基座上；通过二维精密微动平台调整双频激光干涉仪出射光线的方向，使激光轴近似对准被校准力传感器的中心。第2步，将不同质量的配重Mi安装在传感器的输出端；启动正弦激振台以频率f=450 Hz开始激振。第3步，利用双频激光干涉仪实时测量配重质量的激振加速度ai（t）；同时，测控平台通过PCI-1711UL数据采集卡记录被校准力传感器的输出电压Ui（t），如表1所示。