《表1 研磨面平尺测量采样数据与拼接结果》

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《研磨面平尺的相移干涉测量方法》

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注:平面度为0.346μm

子孔径2的所有有效测试区域，按（Δa，Δb，Δc）消除与子孔径1的相对倾斜系数后，就可以进行坐标平移，并将两次测得结果统一，获得被测件全口径的面形数据。图5为300 mm研磨面平尺的三个子孔径测试结果，表1为按研磨面平尺检定规程[4]的采样数据（直接采样值，未消倾斜）和拼接结果。拼接的流程为:两端子孔径端点对准（横向及高度）→两端子孔径倾斜调整（由重叠点计算倾斜量）→拼接，获得11个数据→消倾斜（端点归零）。