《表3 测量不确定度概况和估算 (L=300 mm)》
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采用相移干涉仪对研磨面平尺的2种测量过程，可以仿照研磨面平尺的检定规程进行测量不确定度估算，如表3所示。
| 图表编号 | XD0025720900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.02.28 |
| 作者 | 王青、顾洋 |
| 绘制单位 | 南京理工大学、南京理工大学 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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