《表1 表面粗糙度和硬度随曝光时间的变化关系》

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表1为表面粗糙度Ra和硬度与曝光时间的关系。从表1可以看出,初始未进行抛光样品具有最高的表面粗糙度为30 nm,而进行激光抛光后样品的表面粗糙度都下降。比较曝光时间与表面粗糙度的关系可以发现,随着曝光时间的逐渐延长,样品的表面粗糙度先下降后上升。当曝光时间为700μs时,样品的粗糙度Ra为13.5 nm;随着曝光时间增加到1 100μs时,样品的粗糙度Ra为6.24 nm,下降了54%。而当曝光时间增加到1 300μs时,样品的粗糙度Ra则上升到了8.86nm。可能的原因是随着曝光时间的延长,作用到样品表面的能量也逐渐增加,如此大的能量对样品表面造成了破坏从而导致了表面粗糙度的增加。因此,确定最佳的曝光时间为1 100μs。由表1还可以看出,经过激光抛光处理后的样品硬度比没有抛光处理的样品提高了5%~40%。随着曝光时间的延长,硬度先增大后减小,曝光时间为1 100μs时样品的硬度最高,达到了700 HV。