《表1 2019年LPE3061D设备电阻率测试片使用情况(片)》

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《质量成本控制——减少硅外延电阻率测试频次的实验研究》

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如表1所示，抽取8台LPE3061D设备进行生产统计，全年装片数385 842片，共计使用电阻率测试片13 066片，测试片占比2.97%。以上测试片均为正片，假设全部按照5 in产品计算，折合产值约为150万元。