《表2 20μm厚度规格产品掺杂剂用量变化统计》
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《质量成本控制——减少硅外延电阻率测试频次的实验研究》
从表2可以看出，该产品由于电阻率控制范围为9.45～9.95?·cm，在前3炉实验之后，基本不用再进行掺杂调节。
| 图表编号 | XD00226262800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.09.01 |
| 作者 | 李杨、薛兵、唐发俊 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
