《表1 不同方法检测精度对比》
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为进一步测试本文方法检测超精密光学元件瑕疵有效性，统计采用本文方法检测10种超精密光学元件瑕疵的检测精度，并将本文方法与激光投射法和全息法对比，对比结果如表1所示。
| 图表编号 | XD00222377200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.09.25 |
| 作者 | 刘尘尘、吴成茂 |
| 绘制单位 | 西昌学院、西昌学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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