《表3 不同方法消耗功率对比》

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《基于嵌入式技术的超精密光学元件瑕疵检测研究》


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为验证本文方法检测超精密光学元件瑕疵的稳定性,统计采用本文方法检测不同数量超精密光学元件瑕疵时,所消耗功率,并将本文方法与激光投射法与全息法对比,对比结果如表3所示。