《表1 DARPA N-ZERO项目取得的成果》

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《军用传感器核心技术需求分析和发展问题研究》


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Nanusens通过使用标准的CMOS制造工艺,同时解决了规模制造和性能提升问题。此外,这种新型NEMS传感器技术还有尺寸小、功耗低等其它技术优势。