《表1 激光跟踪仪参数：TFT LCD光配向制程对低灰阶画面抖动的影响》

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《TFT LCD光配向制程对低灰阶画面抖动的影响》

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工业生产中静电一般分为两种，一种是接触的两件物体分开（剥离）时产生的静电，被称为剥离带电；另一种是两件物体相互摩擦产生静电，被称之为摩擦带电。对于TFT-LCD本身复杂的工艺制程，能够快速定位不良发生的工艺设备和工艺环节是十分重要的，经过对大量工艺数据进行统计学分析，根据不良发生率，定位不良发生单元，认为该静电集中发生在PI制程，从表1可以看到PI#1、PI#2的不良发生率是0%，PI#3的不良发生率是0.38%，所以认为PI#3在生产中发生了静电不良。