《表1 直径为2.37 mm的SiC材料位置控制模型仿真与实验相关参数的对比》

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《基于高速视觉的静电悬浮控制系统》

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由表1发现实验值和理论值有一定差距。其主要原因在于：电极间距不是远大于样品材料的半径；本文的电极形状不是平行板，是有一定倾斜角度的电极结构；实际的电极间距为8mm，存在一定的误差；建模时没有考虑运动过程中电荷分布的变化。