《表1 实验主要设备与仪器》

《表1 实验主要设备与仪器》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《多晶硅锭中硬质点分析及控制研究》


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实验采用中国电子科技集团公司第四十八研究所研发生产的R13680-1/UM型G6多晶硅铸锭炉,其加热器为顶侧五面加热结构。实验中用到的主要设备与仪器见表1。