《表1 实验主要设备与仪器的名称、型号及供应商》

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《原生大尺寸籽晶对高效多晶硅铸锭质量的影响》

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实验使用的多晶硅铸锭炉为中国电子科技集团公司第四十八研究所研发生产的R13680-1/UM型G6多晶硅铸锭炉，其加热器为顶侧5面加热结构。实验主要设备与仪器的名称、型号及供应商如表1所示。